GSENSE2020-BSI 搭載 sCMOS-UVカメラ

Ximea社のUVシリーズは200-400nmの近紫外アプリケーションに最適です。波長が短いためわずかな凹凸に対しても光が錯乱するため、半導体のパターン検査のような微細な欠陥検査や金属の表面キズ検査、透明な樹脂の塗布ムラの検査など肉眼(可視光)では判別が困難な検査に役立ちます。 本カメラはUV波長域専用のセンサではなく、scientific CMOSを搭載しています。Ximea社のsCMOSは科学研究目的で開発され、従来のCMOSカメラと比較して極めて低ノイズで優れた量子効率(QE)を持ちます。またダイナミックレンジも広く、最大16bitの高階調で幅広い研究分野に応用可能です。

 アプリケーション例(UV)

• 外観検査(表面キズ)

• 樹脂塗布検査

• 材料選別(リサイクル)

• 放電検査(インフラ)

• 露光装置(ステッパー)

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